| 摘要 |
[课题]使薄膜型探针之各接触元件与被检查体之电极确实地接触。[解决手段]具备有：被固定在本体框架侧之探针基底；和支持薄膜型探针而使其与被检查体之电极作电性接触的探针区块；和在前述薄膜型探针之各接触元件与被检查体之电极相接触的状态下，对此薄膜型探针以均匀之压力来加压之加压机构，前述加压机构，系具备有与前述薄膜型探针直接作接触，并在此薄膜型探针之各接触元件与被检查体之电极相接触的状态下，对此薄膜型探针作加压之前端加压部，前述前端加压部，系由对前述薄膜型探针作加压之加压平板、和使该当加压平板所致之压力成为均等的弹性体、和被设置于前述薄膜型探针之前述接触元件侧，并与前述弹性体而一同使被附加在前述各接触元件处之压力成为均匀的辅助薄膜所构成。 |
