| 摘要 |
〔课题〕提供能更柔软且简易进行基板处理装置之构成的基板处理系统以及群组管理系统。〔解决手段〕本发明的基板处理系统2系具有：处理基板的复数个基板处理装置10；以及连接于前述基板处理装置10的群组管理系统7，而前述群组管理系统7具有：构成资讯记忆装置(构成管理装置3)，其记忆有构成资讯；复数个通信装置(连接管理装置4)，其根据前述构成资讯记忆装置所记忆之构成资讯，在与前述复数个基板处理装置10之至少任意一个之间进行通信；以及装置资讯储存装置(资料管理装置5)，其储存基板处理装置10之相关资讯，该基板处理装置10系根据前述构成资讯记忆装置所记忆之构成资讯而连接于前述复数个通信装置之任一个，且在和此通信装置之间进行通信。 |
