| 摘要 |
一种双阶段虚拟量测方法，藉以产生双阶段虚拟量测值来兼顾立即性与准确性。其中，第一阶段推估步骤系在某一工件之制程参数资料一收集完成便立即计算此工件之第一阶段虚拟量测值(VM#sB!I#eB!)，俾满足立即性之需求；第二阶段推估步骤系在取得被抽测之工件的实际量测值后(用以重新训练或调校)，才重新计算此被抽测之工件所属之卡匣内之所有工件的第二阶段虚拟量测值(VM#sB!II#eB!)，俾满足准确性之需求。此外，此方法亦产生第一阶段虚拟量测值和第二阶段虚拟量测值之信心指标(Reliance Index；RI)和整体相似度指标(Global Similarity Index；GSI)。 |
