电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

本发明之电浆处理装置具有设置于与基板相对之室的上部开口，且支撑介电板之梁状隔片。介电板系由梁状隔片所支撑。又，在梁状隔片设置有朝下设置且具有朝向基板之俯角θd的复数制程气体导入口、及具有朝向介电板之仰角θe的复数惰性气体导入口。本发明可在高压且高功率之制程中实现提升蚀刻速率等处理速度，并有效地抑制介电板耗损情形。