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经营范围
发明名称
以处理级台耦接机构实施的样本检查级台
摘要
一种以处理级台耦接机构(429)实施的样本检查级台(400)提供以下性能:以最大的效率在处理平台(10)线上进行后处理样本检查。沉重的检查装备(408)系被安装于一个与处理平台(22)分开的样本检查级台上。在较佳实例中,处理级台回应于施加的推动力而移动,且在样本上执行基于雷射的处理操作。虽然正在进行雷射处理,但是样本检查级台仍旧停留于其收容位置。当是要进行后处理检查的时间时,级台的耦接与解耦机构系将样本检查级台与样本处理级台耦接在一起,而将样本检查级运送到及运送离开样本位置。
申请公布号
TW200849440
申请公布日期
2008.12.16
申请号
TW097105691
申请日期
2008.02.19
申请人
伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人
马克 寇斯摩瓦斯基;罗伯 佛葛森;杰瑞米 威利
分类号
H01L21/66(2006.01)
主分类号
H01L21/66(2006.01)
代理机构
代理人
桂齐恒;阎启泰
主权项
地址
美国
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