电子射线装置及使用该电子射线装置之试料观察方法

摘要

一种电子射线装置包含：承载试料Ｓ之平台30；产生具有预定的照射区域15的电子束，朝试料照射电子束之一次光学系统10；检测藉由电子束照射至试料所产生之得到试料的构造资讯的电子，针对预定的视野区域25取得试料的像之二次光学系统20；以及对预定的视野区域25可变更预定的照射区域15的位置之照射区域变更部13、14。藉由使一次光学系统也具有预充电的功能，可省略预充电单元。可控制对试料的预充电的区域与量，进行依照试料的最佳的预充电。