感测承载件中之基板的方法及设备

摘要

本发明一些态样揭示一种对映基板承载件之内容的方法。该方法包含(1)移动一承载件至一感测器；以及(2)利用该感测器根据该承载件内一基板夹的位置来决定该承载件内是否有一基板存在。在此提供其他许多态样。