用以抑制电晶体阵列中之临限电压的布局灵敏度的方法

摘要

一种变异量平滑方法，用以平滑一积体电路布局之临限电压之变异量。此方法首先辨认有关于在此布局中之电晶体之复合表面。复合表面系被处理，以作用与上述表面相邻之填隙原子之复合，以将布局中的电晶体的临限电压的变异量最小化。