| 摘要 |
本发明系关于一种抗反射涂料组合物，其能够被涂布在一光阻剂层之下，其中该抗反射涂料组合物包含聚合型交联剂及溶剂混合物，其中该溶剂混合物包含至少一种第一有机溶剂及至少一种第二有机溶剂，该第二有机溶剂系选自以下结构1、2及3中之任一者：#P 097101041P01.bmp其中R#sB!1#eB!、R#sB!3#eB!及R#sB!4#eB!系选自H及C#sB!1#eB!-C#sB!6#eB!烷基，且R#sB!2#eB!、R#sB!5#eB!、R#sB!6#eB!、R#sB!7#eB!、R#sB!8#eB!及R#sB!9#eB!系选自C#sB!1#eB!-C#sB!6#eB!烷基，且n＝1-5。本发明亦系关于一种抗反射涂料组合物，其能够被涂布在一光阻剂层之下，其中该抗反射涂料组合物包含聚合型交联剂及溶剂混合物，其中该溶剂混合物包含至少2种有机溶剂，且其中在加速老化后该抗反射涂料组合物具有在0.2微米下小于100/ml之液体颗粒计数。 |
