液晶显示元件及其制造方法

摘要

藉由乾式蚀刻，将接触孔与虚设孔形成于位于阵列板的非显示区域的闸极绝缘膜与层间绝缘膜。由于增加该阵列板的开口面积比率，在乾式蚀刻期间，蚀刻气体的发光变化量大，因此藉由侦测这些变化量可以容易地侦测到切合的蚀刻时机。