| 摘要 |
本发明提供一种可简化装置之构成并经常可适当地进行基板之装卸的基板组合装置。本发明之基板组合装置20系具备支撑台21及保持机构22。支撑台21为用以支撑下侧基板LW者。保持机构22具有保持面与功能性元件。上述保持面为用以保持上侧基板UW之上面者。上述功能性元件系设置于上述保持面且可使保持力依电压之大小而改变。上述保持机构系使上侧基板UW之下面与由支撑台21所支撑之下侧基板22之上面相对向。藉由此构成，能电性控制对上侧基板UW之保持力，得以简化保持机构之构成。此外，由于可使基板UW之保持力圆滑地变化，因此对厚度薄之基板亦可经常进行适当之装卸。 |
