| 摘要 |
与在一微米或奈米尺寸上之结构微影技术相关连的一种设备和一种方法。依照本发明之一项实施例的一奈米压印设备包含二旋转安装式滚筒，用以传送一微米或奈米尺寸之图案至即将被压印图案的基板。一第一旋转安装式滚筒具有一具图案周围表面，用以藉由将具图案表面与基板相接触来将一来自该第一旋转安装式滚筒之图案传送至一可变形基板。一第二旋转安装式滚筒具有一面朝向该第一旋转安装式滚筒之具图案表面的主要平坦周围表面。此外，该第二旋转安装式滚筒是被旋转连接至第一旋转安装式滚筒，用以得到第一滚筒和第二滚筒之同步旋转动作。基板是可于第一滚筒与第二滚筒之间移动，使得当以上二滚筒相对于彼此而旋转时，第一旋转安装式滚筒之具图案表面能够与基板相接触，于是，该图案从具图案表面传送至基板。 |
