片状电浆成膜装置

摘要

本发明之片状电浆成膜装置（100），具有可产生圆柱状电浆于内部之电浆产生部（81）、将圆柱状电浆变形为片状电浆（27）之变形部（83）、用以流通片状电浆之扁平片状电浆通路（86）、形成于片状电浆通路（86）之一方主面之靶收容部（85）、形成于片状电浆通路（86）之另一方主面之基材收容部（87）及阳极部（89）。又，片状电浆通路（86），除了形成有之靶收容部（85）及基材收容部（87）之部分，其他部分的高度尺寸系大于所流通之片状电浆之可视部的厚度，且小于所流通之片状电浆之可视部的宽度。