| 摘要 |
本发明，系有关于在藉由将复数台之水分产生用反应炉作平行运转来对高纯度水供给量之增大的要求作对应之情况时，藉由将H#sB!2#eB!与O#sB!2#eB!之混合气体的分流供给以极为简单之限流孔的利用而使其成为可能，而成为能够达成混合气体（原料气体）分流装置之简单化以及设备费之大幅降低者。亦即是，本发明之水分产生用反应炉之平行运转方法，系为在被并列连接之复数之水分产生用反应炉的各混合气体入口侧，配设具备有特定之口径的限流孔，并在将从混合器而来之氢与氧之混合气体Ｇ通过前述各限流孔来供给至各水分产生用反应炉处的同时，使在各水分产生用反应炉处所产生的水分合流并供给至高纯度水之使用装置者。 |
