发明名称 半导体装置应力模型方法
摘要 一种计算方法以改善一精简模型中模型参数的准确性,透过重新配适应力模型于产生基本模型的资料组,使用方法及演算法以自身一致地符合独立发展的基本模型及应力模型。重新配适(re-fitting)演算法消除基本模型及应力模型间的任何差异,因为应力模型系应用至由尺度(dimension-scaling)巨集所得之资料组。计算尺度巨集装置的应力补偿以配适相同装置的模型参数之测量值。配适(fitting)模型参数于来自尺度巨集的资料组之程序系计算模型参数的常数、线性、及二次系数,以利用来增加模型参数以及用在电路模拟及最佳化的精简模型的准确性。
申请公布号 TW200849050 申请公布日期 2008.12.16
申请号 TW097104763 申请日期 2008.02.12
申请人 万国商业机器公司 发明人 杜惹瑟堤 齐单巴劳;理察Q 威廉
分类号 G06F17/50(2006.01) 主分类号 G06F17/50(2006.01)
代理机构 代理人 蔡玉玲
主权项
地址 美国