载置台构造、使用其之处理装置、该装置之使用方法及储存程式之电脑可读取记忆媒体

摘要

本发明所揭示之载置台构造系在构成为对于基板进行特定处理之可抽真空之处理容器内支撑基板者，且包含：载置台本体，其系载置基板；升降销机构，其构成为将基板下降至载置台本体，且从载置台抬起；及阶部，其系以使载置于载置台本体上之基板之背面周缘部曝露在供给至处理容器之处理气体中之方式形成于载置台本体。