使用乙烯醚交联剂之抗反射涂料

摘要

本发明提出新颖之显影剂可溶解的抗反射涂布组成物及使用彼等组成物之方法。此组成物包含具有酸官能基并与交联剂、光酸生成剂和视需要的发色团一起溶解于溶剂系统中之聚合物和／或低聚物。较佳的酸官能基是羧酸，而较佳的交联剂是乙烯醚交联剂。使用上，此组成物施用于基板且经热交联。曝于光(和视需要的曝光后烘烤)之后，此经固化的组成物会去交联(decrosslink)，使其可溶解于典型的光阻层显影液(如，硷性显影剂)。在一个具体实例中，此组成物可用以在微电子基板中形成离子植入区。