| 摘要 |
本发明提供一种化学放大型光阻组成物，其包含：(A)式(I)所表的盐：A#sP!﹢﹣#eP!O#sB!3#eB!S─Q#sP!1#eP!(Ⅰ)其中Q#sP!1#eP!表C1-C8全氟烷基；且A#sP!+#eP!表至少一种选自下列之有机阳离子：式(Ⅰa)所表的阳离子：#P 097106994P01.bmp其中P#sP!1#eP!、P#sP!2#eP!和P#sP!3#eP!各独立地表C1-C30烷基，其可经选自羟基、C3-C12环状烃基和C1-C12烷氧基之至少一者所取代，或C3-C30环状烃基，其可经选自羟基和C1-C12烷氧基之至少一者所取代；式(Ⅰb)所表的阳离子：#P 097106994P02.bmp其中P#sP!4#eP!和P#sP!5#eP!各独立地表氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基；及式(Ⅰc)所表的阳离子：#P 097106994P03.bmp其中P#sP!10#eP!、P#sP!11#eP!、P#sP!12#eP!、P#sP!13#eP!、P#sP!14#eP!、P#sP!15#eP!、P#sP!16#eP!、P#sP!17#eP!、P#sP!18#eP!、P#sP!19#eP!、P#sP!20#eP!、和P#sP!21#eP!各独立地表氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基；B表硫或氧原子；且m表0或1；(B)式(Ⅱ)所表的盐：#P 097106994P04.bmp其中R#sP!22#eP!表C1-C30烃基，其可经取代，且在该烃基中的至少一个-CH#sB!2#eB!-可经-CO-或-O-所取代；Q#sP!3#eP!和Q#sP!4#eP!各独立地表氟原子或C1-C6全氟烷基；且A#sP!+#eP!表示(Ⅱa)所表的有机阳离子：#P 097106994P05.bmp其中P#sP!6#eP!和P#sP!7#eP!各独立地表C1-C12烷基或C3-C12环烷基；或P#sP!6#eP!和P#sP!7#eP!键结形成C3-C12二价非环状烃基，其可与毗邻的S#sP!+#eP!一起形成环，且在该二价非环状烃基中的至少一个-CH#sB!2#eB!-可经-CO-、-O-或-S-所取代；P#sP!8#eP!表氢原子；P#sP!9#eP!表C1-C12烷基、或C3-C12环烷基或芳基(其可经取代)；或P#sP!8#eP!和P#sP!9#eP!键结形成二价非环状烃基，其可与毗邻的-CHCO-一起形成2-酮基环烷基，且在该二价非环状烃基中的至少一个-CH#sB!2#eB!-可经-CO-、-O-或-S-所取代；及(C)树脂，其包含具有酸不稳定基的结构单位且其本身为不溶于或难溶于硷性水溶液但是在酸的作用下变成可溶于硷性水溶液。 |
