溶液流延设备及溶液流延方法

摘要

一种流延模包括唇板及内框板，其各具有接触面。此接触面形成流延模之出口。唇板之脊与内框板之脊间的距离为最大9微米。此外将喷嘴配置于接近出口。将流延涂布液自出口排放至撑体，以在出口与撑体周边之间形成涂布液粒。喷嘴对涂布液粒之侧缘供应溶液。