| 摘要 |
本发明提供一种输送器及成膜装置与其保养方法，该输送器包含：框架；下部支持机构，其支持呈纵型载置有基板之承载器，并且搬送承载器；以及上部支持机构，其支持承载器；其中，框架由下部框架及上部框架构成，下部支持机构设于下部框架上，上部支持机构设于上部框架上，上部框架构成为可与下部框架分离地移动。因此，藉由使上部框架转动，可在形成于下部框架上方之空间内配置阴极构件，故而可缩窄成膜处理路径与承载器搬送路径之间隔。因此，可缩窄成膜装置之中庭，故而于可搬送承载器之输送器以及具备该输送器且具备真空处理装置及搬送系统之成膜装置中，可使其设置面积狭小化。 |
