微影装置和方法

摘要

本发明提供一种微影装置，其包括一经建构及经配置以调节一辐射光束之照明系统，及一经建构及经配置以支撑一图案化器件的支撑结构。该图案化器件经组态以在该辐射光束之横截面中赋予一图案。该装置亦包括一经建构及经配置以固持一基板之基板台。该基板台包括一与一热调节板热接触之基板支撑板。该装置进一步包括一经建构及经配置以将该经图案化之辐射光束投影至该基板之一目标部分上的投影系统。