发明名称 Halbleiterbauteil und Herstellung desselben
摘要
申请公布号 DE69637728(D1) 申请公布日期 2008.12.11
申请号 DE1996637728 申请日期 1996.02.01
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 HOSOMI, EIICHI;TAZAWA, HIROSHI;TAKUBO, CHIAKI;SHIBASAKI, KOJI
分类号 H01L21/60;H01L23/498;H01L21/603;H01L23/485;H01L23/495;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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