| 摘要 |
Beschrieben wird ein Verfahren zur lokalen thermischen Oberflächenbehandlung eines Flächensubstrates, im Weiteren kurz Substratoberfläche genannt, mittels eines Lasers zur Erzeugung eines auf die Substratoberfläche gerichteten, gepulst betriebenen Laserstrahls, der am Ort der Substratoberfläche jweils einen homogen ausgeleuchteten Laserstrahlquerschnitt aufweist, bei dem das Flächensubstrat wenigstens längs einer ersten Raumachse bewegt wird und bei dem der Laserstrahl unabhängig von der Bewegung des Flächensubstrats längs der ersten und längs einer, zu der ersten Raumachse orthogonal orientierten zweiten Raumachse, die parallel zur Substratoberfläche ausgerichtet ist, ausgelenkt wird, wobei der Laserstrahl derart relativ zu der sich bewegenden Substratoberfläche ausgelenkt wird, so dass die Laserstrahlquerschnitte von n >= 2 Laserpulsen mit einem gegenseitigen Überdeckungsgrad von wenigstens 80% auf einem ersten diskret vorgebbaren lokalen Bereich der Substratoberfläche abgebildet werden.
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