Piezoelektrischer dünner Film, piezoelektrisches Material und Herstellungsverfahren für piezoelektrischen dünnen Film und piezoelektrisches Material, und piezoelektrischer Resonator, Schalterelement und physikalischer Fühler, die piezoelektrischen dünnen Film verwenden

摘要

Der piezoelektrische Dünnfilm gemäß der vorliegenden Erfindung enthält einen Aluminiumnitrid-Dünnfilm, der Scandium enthält. Der Gehalt von Scandium in dem Aluminiumnitrid-Dünnfilm ist 0,5 Atom-% bis 50 Atom-% in der Annahme, dass die Gesamtmenge der Anzahl an Scandiumatomen und der Anzahl an Aluminiumatomen 100 Atom-% beträgt. Gemäß dieser Anordnung kann der erfindungsgemäße piezoelektrische Dünnfilm die piezoelektrische Empfindlichkeit verbessern, während er Eigenschaften von elastischer Wellenverbreitungsgeschwindigkeit, Q-Wert und Frequenz-Temperatur-Koeffizient, die der Aluminiumnitrid-Dünnfilm hat, beibehält.