| 发明名称 |
Method and Apparatus for Ion Milling |
| 摘要 |
The present invention relates to methods and apparatus for ion milling, and more particularly relates to methods and apparatus for smoothing a surface using ion milling. |
| 申请公布号 |
US2008302657(A1) |
申请公布日期 |
2008.12.11 |
| 申请号 |
US20080138206 |
申请日期 |
2008.06.12 |
| 申请人 |
GENTEX CORPORATION |
发明人 |
LUTEN HENRY A.;NEUMAN GEORGE A.;OLESEN NIELS ALFRED |
| 分类号 |
C23C14/46 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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