发明名称 Optisches Element, Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage damit
摘要 Die Erfindung betrifft ein optisches Element (1) aus einem für Wellenlängen im UV-Bereich transparenten Material, welches außerhalb des optisch freien Durchmessers eine oleophobe Beschichtung (6, 7) aufweist, deren disperser Anteil der Oberflächenenergie bevorzugt bei 25 mN/m oder weniger, besonders bevorzugt bei 20 mN/m oder weniger, insbesondere bei 15 mN/m oder weniger liegt. Zusätzlich oder alternativ weist das optische Element (1) innerhalb seines optisch freien Durchmessers eine für Wellenlängen im UV-Bereich transparente, oleophile Beschichtung (9b, 9c) auf, deren disperser Anteil der Oberflächenenergie bevorzugt bei mehr als 25 mN/m, besonders bevorzugt bei mehr als 30 mN/m, insbesondere bei mehr als 40 mN/m liegt. Das optische Element ist bevorzugt in einer Anordnung vorgesehen, bei der es wenigstens teilweise in eine organische Flüssigkeit eintaucht.
申请公布号 DE102008002024(A1) 申请公布日期 2008.12.11
申请号 DE200810002024 申请日期 2008.05.28
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 PAZIDIS, ALEXANDRA;SIX, STEPHAN;DUESING, RUEDIGER;FEDOSENKO, GENNADY
分类号 G02B1/10;G03F7/20 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
主权项
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