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发明名称
Schleusenanordnung für eine Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben von dieser
摘要
申请公布号
DE502004008341(D1)
申请公布日期
2008.12.11
申请号
DE200450008341T
申请日期
2004.03.31
申请人
APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG
发明人
GEBELE, THOMAS;HENRICH, JUERGEN;WEIMANN, MANFRED
分类号
C23C14/56;C03C17/00;C23C14/35;C23C14/54;C23C16/00
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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