发明名称 Schleusenanordnung für eine Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben von dieser
摘要
申请公布号 DE502004008341(D1) 申请公布日期 2008.12.11
申请号 DE200450008341T 申请日期 2004.03.31
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 GEBELE, THOMAS;HENRICH, JUERGEN;WEIMANN, MANFRED
分类号 C23C14/56;C03C17/00;C23C14/35;C23C14/54;C23C16/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址