Kapazitiver Drucksensor

摘要

Ein Drucksensor umfasst einen Grundkörper 1 und eine elastische Messmembran 2, die unter Bildung einer am Rand dicht abgeschlossenen Messkammer 3 mit einer Oberfläche des Grundkörpers 1 gefügt ist, wobei der Grundkörper 1 und/oder die Messmembran 2 Keramik, Glas oder ein einkristallines Material aus Werkstoff aufweisen, die Messmembran mindestens eine erste Elektrode 6 aufweist, die der Oberfläche des Grundkörpers 1 zugewandt ist, die Oberfläche des Grundkörpers 1 mindestens eine zweite Elektrode 5 aufweist, die der der Messmembran 2 zugewandt ist, wobei die Kapazität zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode ein Maß für den zu messenden Druck ist, wobei ferner mindestens eine der ersten und zweiten Elektroden eine leitfähige Schicht aufweist, die Metall und Glas enthält, wobei das Metall mindestens zwei Edelmetall-Elemente umfasst.