发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERTIKALEN MOS-TRANSISTORS
摘要
申请公布号 DE59814314(D1) 申请公布日期 2008.12.11
申请号 DE19985014314 申请日期 1998.07.16
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHULZ, THOMAS;AEUGLE, THOMAS;ROESNER, WOLFGANG;RISCH, LOTHAR
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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