发明名称 |
单晶炉 |
摘要 |
为将单晶炉内的混合气体及时排出,并减少热能及氩气消耗的技术问题,本发明提供了一种单晶炉,其包括:设于单晶炉的坩埚支持器下方和单晶炉底部的排气口之间的气流导向装置;该气流导向装置为碗形,其包括:设于气流导向装置底部的中轴孔、设于所述中轴孔两侧的一对电极孔、以及设于所述中轴孔两侧并与单晶炉的排气口相对的通气孔;单晶炉的石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,单晶炉的一对电极柱分别穿过所述电极孔,单晶炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于单晶炉的保温筒与发热体之间。 |
申请公布号 |
CN101319351A |
申请公布日期 |
2008.12.10 |
申请号 |
CN200810122723.3 |
申请日期 |
2008.06.26 |
申请人 |
常州中弘光伏有限公司 |
发明人 |
刘运广 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01);C30B27/02(2006.01) |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01) |
代理机构 |
常州市江海阳光专利代理有限责任公司 |
代理人 |
林倩 |
主权项 |
1、一种单晶炉,其特征在于:包括:设于单晶炉的坩埚支持器(14)下方和单晶炉底部的排气口(9)之间的气流导向装置(2);该气流导向装置(2)为由石墨制成的碗形,其包括:设于气流导向装置(2)底部中央的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电极孔(2-2)、以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与单晶炉的排气口(9)相对的通气孔(2-3);单晶炉的石墨中轴(11)穿过所述气流导向装置(2)的中轴孔(2-1),单晶炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2),单晶炉的排气口(9)与气流导向装置(2)的各通气孔(2-3)相连通,气流导向装置(2)的上端部(2-4)设于单晶炉的保温筒(17)与发热体(7)之间。 |
地址 |
213000江苏省常州市武进区高新技术产业开发区南区 |