基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置

摘要

本发明公开了一种基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置，利用数字微镜阵列替代传统掩模板的方法，结合投影曝光系统的特点，实现系统数字式、柔性曝光；由计算机将要曝光的图形、图像发送到数字微镜阵列上，构成数字式掩模，再利用均匀化、准直化后的照明光照射数字微镜阵列，数字微镜阵列上的掩模图像将对该光束进行空间光调制，再由投影物镜系统将该数字掩模板上的图形、图像复制到光刻样品上；光刻样品被置于高精密X－Y向移动工件台上，依靠工件台步进，顺次由数字微镜阵列在焦平面上所形成各个曝光子场的图形，经拼接获得较大面积的曝光图像或图形。本发明具有很强的技术延伸性和工艺兼容性，易于应用在普通工程实际。

主权项

1、一种基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置，其特征在于：它是由照明光源(1)、椭球镜(2)、反射镜(3)、光拦(4)、准直镜(5)、能量积分匀化(6)、投影物镜(7)、光刻样品(8)、X-Y向步进工件台(9)、数字微镜阵列(10)、数字微镜阵列控制卡(11)、计算机(12)组成；照明光源(1)发出的光，由椭球镜(2)进行聚光，以保证光能量被充分利用；被椭球镜(2)聚集的光被放置在椭球镜(2)开口处的反射镜(3)反射后汇聚到光拦(4)，通过光拦(4)将照明光源(1)变成可满足光刻需要的点光源，光拦(4)后放置一准直透镜(5)，可使照明光源(1)发射的光通过准直镜(5)准直化以后，都能平行入射到能量积分匀化器(6)，再经能量积分匀化器(6)后变为均匀照明光入射到数字微镜阵列(10)上；计算机(12)产生各种灰阶的数字图象，并通过数字微镜阵列控制器(11)将所需的图形、图像传送到数字微镜阵列(10)，形成所需要的数字掩模图案；该数字掩模将对数字微镜阵列(10)上的照明光进行空间调制，形成所需要的任意灰度图案；再由投影物镜(7)将此图形成像复制到涂有光刻胶的光刻样品(8)上，从而实现单场曝光；光刻样品(8)位于X-Y向步进工件台(9)上，依靠X-Y向步进工件台(9)步进，顺次由数字掩模在焦平面上所形成的每一个曝光子场的图形，经拼接即可获得较大面积的曝光图像或图形。