微加工的磁阻马达

摘要

一种磁阻马达，磁阻马达具有不需要在马达的静止零件内的固定的安装轴的可移动零件。在一个实施例中，本发明的马达具有限定了转子插入到其内的圆柱形腔的静止零件，其中腔的内壁由非磁性衬里覆盖。静止零件具有多个定子极，每个定子极由具有磁性芯的电线圈限定。转子具有间隔器(422)和多个轴承(424)，其中每个轴承(424)至少部分地限制在间隔器和衬里之间。转子适合于响应于定子极的一个或多个的激励而在腔内旋转，使得轴承在衬里和间隔器之间滚动。马达可以实施为MEMS设备，其中马达的定子大体上是使用单一的基片形成的单件结构，该结构具有1mm量级上的尺寸。

主权项

1.一种电动马达，包括：包括衬里和多个极的静止零件；和包括间隔器和多个轴承的可移动零件，其中：衬里位于极和可移动零件之间；每个轴承至少部分地限制在间隔器和衬里之间；可移动零件适合于响应于极的一个或多个的激励而相对于静止零件移动；和轴承适合于当可移动零件相对于静止零件移动时在衬里和间隔器之间滚动。