主权项 |
1、一种极紫外波段发射效率测量装置,其特征在于该装置的结构包括:沿极紫外光前进方向依次是铝膜(1)、水平狭缝(2)、第一柱面金镜(3)、第二柱面金镜(4)、平面金镜(5)、竖直狭缝(6)、平场光栅(7)、X射线CCD(8)和计算机(9),其位置关系如下:由S点发射的极紫外光,经由所述的铝膜(1)、水平狭缝(2)掠入射在第一柱面金镜(3)上,该第一柱面金镜(3)的柱面轴线平行于光学平台,并被反射到第二柱面金镜(4)上,该第二柱面金镜(4)的柱面轴线垂直于所述的光学平台,再由所述的平面金镜(5)反射,经过所述的平场光栅(7)色散后并将一级衍射谱线成像在所述的X射线CCD(8)上,这些部件置于真空中,各元件的位置和参数必须满足一定关系:假设第一柱面金镜(3)到靶点s和X射线CCD(8)的距离分别为u1和v1,第二柱面金镜(4)到靶点s和竖直狭缝(6)的距离分别为u2和v2,所述的平场光栅(7)到竖直狭缝(6)和X射线CCD(8)的距离分别为u3和v3,EUV在第一柱面金镜(3)、第二柱面金镜(4)、平场光栅(7)上的入射角分别为θ1,θ2,θ3,第一柱面金镜(3)、第二柱面金镜(4)、平场光栅(7)的曲率半径为R1、R2、R3,则u1、v1、θ1和u2、v2、θ2必须满足柱面镜斜入射成像公式<math><mrow><mfrac><mn>1</mn><msub><mi>u</mi><mn>1</mn></msub></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mn>1</mn><msub><mi>v</mi><mn>1</mn></msub></mfrac><mo>=</mo><mfrac><mrow><mn>2</mn><msub><mrow><mi>cos</mi><mi>θ</mi></mrow><mn>1</mn></msub></mrow><msub><mi>R</mi><mn>1</mn></msub></mfrac><mo>,</mo></mrow><math><mrow><mfrac><mn>1</mn><msub><mi>u</mi><mn>2</mn></msub></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mn>1</mn><msub><mi>v</mi><mn>2</mn></msub></mfrac><mo>=</mo><mfrac><mn>2</mn><mrow><msub><mi>R</mi><mn>2</mn></msub><mi>cos</mi><msub><mi>θ</mi><mn>2</mn></msub></mrow></mfrac><mo>,</mo></mrow>和几何关系u1+v1=u2+v2+u3+v3,所述的X射线CCD(8)的输出端接所述的计算机(9)。 |