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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR REMOVING PARTICLES ENTRAINED IN AN ION BEAM
摘要
申请公布号 EP1314182(B1) 申请公布日期 2008.12.10
申请号 EP20010960909 申请日期 2001.08.21
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 HARRINGTON, ERIC, RYAN;BENVENISTE, VICTOR, MAURICE;GRAF, MICHAEL, ANTHONY;RATHMELL, ROBERT, DAY
分类号 H01J37/04;H01J37/317;H01J3/40;H01J37/02;H01J37/16;H01J37/30;H01L21/265 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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