发明名称 使用光干涉方式的震动检测系统
摘要 本发明一种使用光干涉方式的震动检测系统,包含有:一干涉物镜组,具有一光轴;一取像装置,位于该干涉物镜组的光轴一端,用以透过该干涉物镜组进行取像;一光源,其所发的光是重迭于该干涉物镜组的光轴;以及一待测物,具有一待测面位于该干涉物镜组的光轴另一端,该待测面的法向量与该光轴相夹预定角度θ。通过此,可透过光干涉方式来进行高精度的3D量测,进一步的得到相对于时间内的位移/速度/加速度及频率等等信息,可供评估震动所造成的相对位移。
申请公布号 CN101319933A 申请公布日期 2008.12.10
申请号 CN200710106174.6 申请日期 2007.06.08
申请人 东捷科技股份有限公司 发明人 张勋章;王正宇
分类号 G01H9/00(2006.01);G01B9/02(2006.01);G01B11/00(2006.01) 主分类号 G01H9/00(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1.一种使用光干涉方式的震动检测系统,其特征在于包含有:一干涉物镜组,具有一光轴;一取像装置,位于该干涉物镜组的光轴一端,用以透过该干涉物镜组进行取像;一光源,其所发的光是重迭于该干涉物镜组的光轴;以及一待测物,具有一待测面位于该干涉物镜组的光轴另一端,该待测面的法向量与该光轴相夹预定角度θ。
地址 台湾省台南县