发明名称 |
使用光干涉方式的震动检测系统 |
摘要 |
本发明一种使用光干涉方式的震动检测系统,包含有:一干涉物镜组,具有一光轴;一取像装置,位于该干涉物镜组的光轴一端,用以透过该干涉物镜组进行取像;一光源,其所发的光是重迭于该干涉物镜组的光轴;以及一待测物,具有一待测面位于该干涉物镜组的光轴另一端,该待测面的法向量与该光轴相夹预定角度θ。通过此,可透过光干涉方式来进行高精度的3D量测,进一步的得到相对于时间内的位移/速度/加速度及频率等等信息,可供评估震动所造成的相对位移。 |
申请公布号 |
CN101319933A |
申请公布日期 |
2008.12.10 |
申请号 |
CN200710106174.6 |
申请日期 |
2007.06.08 |
申请人 |
东捷科技股份有限公司 |
发明人 |
张勋章;王正宇 |
分类号 |
G01H9/00(2006.01);G01B9/02(2006.01);G01B11/00(2006.01) |
主分类号 |
G01H9/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
1.一种使用光干涉方式的震动检测系统,其特征在于包含有:一干涉物镜组,具有一光轴;一取像装置,位于该干涉物镜组的光轴一端,用以透过该干涉物镜组进行取像;一光源,其所发的光是重迭于该干涉物镜组的光轴;以及一待测物,具有一待测面位于该干涉物镜组的光轴另一端,该待测面的法向量与该光轴相夹预定角度θ。 |
地址 |
台湾省台南县 |