工业用机器人

摘要

本发明提供一种即使以机械结构来把持搬运对象物也可抑制对搬运对象物的冲击的工业用机器人。机器人(1)包括：装载晶片(2)的手部(3A)、以及具有保持手部(3A)的第二机臂(6)的多关节机臂部(4)。手部(3A)包括：用于把持晶片(2)的把持部(28A)、以及朝着把持晶片(2)的方向对把持部(28A)施力的施力部件，第二机臂(6)具有偏心部件(31A)，该偏心部件(31A)固定在从手部(3A)的转动中心偏离的位置上，在晶片(2)的搬出开始前与把持部(28A)抵接而使把持部(28A)从晶片(2)退避，随着将晶片(2)搬出时的多关节机臂部(4)的伸缩动作，偏心部件(31A)以使把持部(28A)朝着把持晶片(2)的方向移动的形态相对于把持部(28A)相对移动，在将晶片(2)搬出时的多关节机臂部(4)的伸缩动作的减速中，把持部(28A)开始把持晶片(2)。

主权项

1.一种工业用机器人，用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入，其特征在于，包括：装载所述搬运对象物的手部；多关节机臂部，该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持机臂在内的两个以上的机臂，在所述搬运对象物相对于所述收纳部出入时进行伸缩；以及将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部，所述手部包括：用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及朝着把持所述搬运对象物的方向对所述把持部施力的施力部件，所述手部保持机臂包括偏心部件，该偏心部件以从所述手部相对于所述手部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在所述手部保持机臂上，并在所述搬运对象物被从所述收纳部搬出开始之前与所述把持部抵接而使所述把持部从所述搬运对象物退避，随着将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作，所述偏心部件相对于所述把持部相对移动，以使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动，在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作的恒速中或减速中，所述把持部通过所述施力部件的施力而开始把持所述搬运对象物。