一种温度可控恒温平板装置

摘要

一种温度可控恒温平板装置属半导体测量领域。目前恒温装置恒温过程长。特征在于：将半导体冷堆(202)上下面涂导热脂，分别与导热材料平台(201)、水套平台(205)粘接；水套平台中流有换热循环水，通过水泵(203)和水箱(204)将半导体冷堆产生的热量或冷量散掉；导热材料平台连接温度传感器(107)，温度传感器连接到温度信号放大器(105)，输出连接到A/D转换器(104)，输入连到微处理器(101)；微处理器输出驱动指令到D/A转换器(109)，输出驱动信号到功率放大器(106)，输出驱动电流给半导体冷堆(202)；温度控制设定通过键盘(103)输入到微处理器内的；显示器(102)用于显示输入的温度指令和系统温度。本装置使恒温过程变短，提高控温恒温能力。

主权项

1、一种温度可控恒温平板装置，其特征在于：将半导体冷堆(202)上下两面均涂上导热脂，一面与导热材料平台(201)粘接，另一面则与水套平台(205)粘接；水套平台(205)中间流有换热循环水，通过水套平台(205)、水泵(203)和水箱(204)组成的回路及时将半导体冷堆(202)产生的热量或冷量散掉；导热材料平台(201)中心连接温度传感器(107)，温度传感器(107)连接到温度信号放大器(105)后，又输出连接到A/D转换器(104)后，输入连到微处理器(101)；从微处理器(101)输出驱动控制指令到D/A转换器(109)，又输出驱动信号到功率放大器(106)，输出驱动电流给半导体冷堆(202)；键盘(103)连接到微处理器(101)，温度设定是通过键盘输入到微处理器内的；显示器(102)也与微处理器连接，用于显示输入的温度和实测到的恒温平台上的温度，以及目前加载的驱动电流的状况；半导体冷堆(202)的驱动是通过微处理器(101)控制的；所有控制软件都存储在与微处理器(101)相连的存储器内；若测量温度高于设定温度，微处理器(101)输出正向电流经功率放大器(106)驱动半导体冷堆，使其制冷工作，即从上面恒温平台吸取热量到其下面水套，由流动的水将热量带走；当测量温度低于设定温度，微处理器(101)经D/A转换器(109)到功率放大器(106)，输出反向电流驱动半导体冷堆，使其加热工作，即从下面吸取热量传到上面恒温平台，流动的水不断给其提供热量，以保持水套平台(205)温度不变。