发明名称 | 电路基板的制造方法 | ||
摘要 | 在附有金属箔的绝缘性树脂基板表面的金属箔(2)上形成第1感光性抗蚀剂膜(3),之后进行曝光。然后,在第1感光性抗蚀剂膜(3)上形成第2感光性抗蚀剂膜(4)并进行曝光,之后,通过显影而形成由第1及第2感光性抗蚀剂膜(3、4)构成的抗蚀剂图形(3a、4a)。之后,蚀刻金属箔(2)而形成高纵横比的布线(7)。具有这种高纵横比的布线(7)的电路基板,不必使用特殊装置,使用一般的印刷基板制造装置就可以容易且廉价地制造出来。 | ||
申请公布号 | CN100442953C | 申请公布日期 | 2008.12.10 |
申请号 | CN200510059563.9 | 申请日期 | 2005.03.29 |
申请人 | 日本梅克特隆株式会社 | 发明人 | 庄村光信 |
分类号 | H05K3/06(2006.01) | 主分类号 | H05K3/06(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温大鹏 |
主权项 | 1.一种电路基板的制造方法,在附有金属箔的绝缘性树脂基板表面的金属箔上形成第1感光性抗蚀剂膜,之后进行曝光,在前述感光性抗蚀剂膜上形成第2感光性抗蚀剂膜并进行曝光,之后前述第2感光性抗蚀剂膜形成比前述第1感光性抗蚀剂膜缩回的抗蚀剂图形,并对前述金属箔进行蚀刻。 | ||
地址 | 日本东京都 |