| 发明名称 | 一种静电驱动的F－P腔MEMS波长可调滤波器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电驱动的F－P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F－P腔，其特征在于：在F－P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板分别通过4根连接杆与F－P腔的前腔面相连，4个静电驱动器的下极板与F－P腔的后腔面固定在同一平面上；本发明的F－P腔静电驱动MEMS波长可调滤波器，其前腔面能够在静电驱动器的带动下发生整体平移，从而使得前腔面、后腔面的反射光始终保持平行，从而提高了F－P腔MEMS波长可调滤波器的滤波效率和对选择光的利用率；本发明F－P腔MEMS波长可调滤波器体积小、能耗低、结构简单以及制作容易，可以广泛适用于光纤通信系统。 | ||
| 申请公布号 | CN101320187A | 申请公布日期 | 2008.12.10 |
| 申请号 | CN200810116068.0 | 申请日期 | 2008.07.02 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 姚军;王大甲;胡放荣;邱传凯 |
| 分类号 | G02F1/21(2006.01) | 主分类号 | G02F1/21(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 贾玉忠;卢纪 |
| 主权项 | 1、一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F-P腔，其特征在于：在F-P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板(2)分别通过4根连接杆(4)与F-P腔的前腔面(5)相连，4个静电驱动器的下极板(6)与F-P腔的后腔面(8)固定在同一平面上。 | ||
| 地址 | 610209四川省双流350信箱 | ||