彩色滤光片制程

摘要

一种彩色滤光片制程，是采用压印屏蔽(imprint mask)搭配压印方式与干式蚀刻(dry etching)制程，可以取代传统的湿式显影制程，并达成下列优点：提高彩色单元的图形均匀度、改善彩色单元的膜厚平坦度、增加分辨率、缩短制程时间、减少制程成本、避免使用显影溶剂以减少相关废液处理与环境污染问题。

主权项

1.一种彩色滤光片制程，包含有下列步骤：提供一基板；形成一材料层于该基板上；提供一屏蔽，其表面包含有至少一凹部区域以及至少一凸部区域；将该屏蔽的表面压印至该材料层，以使该材料层形成一第一厚度区域以及一第二厚度区域；其中，该第一厚度区域的厚度大于该第二厚度区域的厚度；其中，该材料层的第一厚度区域是相对应于该屏蔽的凹部区域；其中，该材料层的第二厚度区域是相对应于该屏蔽的凸部区域；以及进行一干蚀刻制程，将该材料层的第二厚度区域去除，则该材料层的第一厚度区域成为一遮光单元或一彩色单元。