微型机电可变电容器

摘要

本申请涉及微型机电可变电容器。其中，在同一衬底上同时制造的相反极性的可动梳状电极被独立致动。这些电极形成为交叉梳状形式以使器件的电容最大化。交叉梳状指之间的侧壁重叠面积的变化提供了对器件的预期电容调节。通过在电极的端部使用薄的支持结构，降低电极的刚度。该器件的三维特征有利于实现较大的表面积。通过独立致动电极指，获得较大的电容变化和调节范围。器件的多种工作模式使得该器件具有更宽的灵活性和更大的性能优势。在制造器件时，使用具有被蚀刻的电介质的单独衬底来封装器件。这样，不再需要进行额外封装。另外，由于可以在晶片尺度完成对准和接合，可以低成本地获得提高的器件产量。

主权项

1.一种微型机电系统可变电容器，包括：在衬底上形成的固定电极；以及相互面对的两个可动梁，每一个所述可动梁分别在其至少一端被锚定到所述衬底上，所述可动梁由共面的金属线形成，所述共面的金属线通过多个导电通孔互连，所述导电通孔和所述金属线被埋嵌在绝缘材料中，所述可动梁还包括面对所述固定电极、形成在所述绝缘材料的下表面上的下电极，其中，电容量作为相对于彼此旋转的所述两个可动梁的侧壁重叠面积的函数而变化。