新型多晶硅还原炉

摘要

新型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，混和气进气管分为数个喷口均匀的设置在底盘上，在还原炉底盘上分三个圆周均匀布置18对电极，最外一周布置9对电极，最内一周布置3对电极，中间一周布置6对电极，该种设计使还原炉内部结构布局合理，单台炉每批次产量较现有还原炉有大幅度的提升，多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。

主权项

1、新型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷口分布设置在底盘上，其特征是在还原炉底盘上分三个圆周均匀布置18对电极，最外一周布置9对电极，最内一周布置3对电极，中间一周布置6对电极。