具有彩色像素阵列的硅基液晶显示装置及其制作方法

摘要

本发明提供一种具有彩色像素阵列的硅基液晶显示装置的制作方法，其是通过在不同彩色滤光层之间设置反射层，并以反射层当作彩色滤光层之间的蚀刻停止层，而利用蚀刻工艺于各次像素中定义出不同的彩色滤光层图案。

主权项

1.一种具有彩色像素阵列的硅基液晶显示装置的制作方法，其包括有：提供半导体基底；于该半导体基底上依序形成第一反射层、第一彩色滤光层、第二反射层以及第二彩色滤光层；于该第二彩色滤光层上形成第一图案层，其包括第一曝像区域；移除由该第一图案层暴露出的部分该第二彩色滤光层与该第二反射层，并在该第二彩色滤光层内形成第一开口；移除该第一图案层；以及于该第一开口内形成第一平坦层，以平坦化该半导体基底表面。