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发明名称 CIRCUIT FOR FOCUSED ION BEAM SENSOR
摘要
申请公布号 EP1368834(B1) 申请公布日期 2008.12.10
申请号 EP20020714017 申请日期 2002.02.15
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 TADDIKEN, HANS
分类号 H01L23/58;G06K19/073;G06F21/06;G06K19/07;G11C16/22 主分类号 H01L23/58
代理机构 代理人
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