多晶硅铸锭炉自动控制系统及方法

摘要

一种多晶硅铸锭炉自动控制系统，包括：处理单元，与处理单元连接的PLC可编程控制器，所述的处理单元连接多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分，所述的PLC可编程控制器连接人机界面装置、开关量真空泵组和电磁阀。一种多晶硅铸锭炉自动控制方法，其步骤为：第一步，自动抽真空和检漏，第二步，当检漏通过以后，进入配方运行阶段，处理器通过与多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分的数据通讯，处理当前运行状况，并与工艺要求进行对比，以输出控制信号来达到完成工艺要求的目的。本发明的优点是控制功能强大，使用操作方便，能够有效提高多晶硅铸锭的加工质量。

主权项

1、一种多晶硅铸锭炉自动控制系统，其特征在于包括：中央处理单元，与中央处理单元连接的PLC可编程控制器，所述的中央处理单元连接多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分，所述的PLC可编程控制器连接人机界面装置、开关量真空泵组和电磁阀。