发明名称 |
一种微机电系统磁场传感器及测量方法 |
摘要 |
一种微机电系统磁场传感器及测量方法是一种功耗小、结构简单、响应快、可靠性好的磁场传感器及测量方法,由锚区(1)、感生金属线(2)、E型悬臂梁(3)、衬底(4)构成。E型悬臂梁由静电激励或者洛伦兹力驱动,E型悬臂梁(3)受力产生振动,在一定的频率作用下悬臂梁将产生谐振,镀在E型悬臂梁(3)上的感生金属线(2)能随E型悬臂梁(3)的振动而运动。在磁场存在的情况下,感生金属线(2)在磁场中作切割磁力线运动,这样金属线中就可以感生出感生电压,测量感生金属线(3)中的感生电压从而达到测量磁场的目的。 |
申请公布号 |
CN101320081A |
申请公布日期 |
2008.12.10 |
申请号 |
CN200810022319.9 |
申请日期 |
2008.07.09 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
陈洁;黄庆安;秦明;赵桂林 |
分类号 |
G01R33/02(2006.01);B81B7/02(2006.01);B81C1/00(2006.01) |
主分类号 |
G01R33/02(2006.01) |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 |
代理人 |
叶连生 |
主权项 |
1.一种微机电系统磁场传感器,其特征在于该传感器包括衬底(4)、E型悬臂梁(3)、感生金属线(2),E型悬臂梁(3)平行悬空设于衬底(4)的上方,且左侧臂(32)、右侧臂(33)、中臂(34)与衬底(4)相连接;感生金属线(2)被设于E型悬臂梁(3)上表面,并能与E型悬臂梁(3)同步运动。 |
地址 |
210096江苏省南京市四牌楼2号 |