发明名称 挥发酸吸收器
摘要 本实用新型公开了一种挥发酸吸收器,涉及半导体领域的废水处理装置。所述挥发酸吸收器包括壳体、注有碱性溶液且安装在壳体内的海绵体以及废水导入孔、导出孔;其中废水导入孔穿过壳体和海绵体与外界相通,以供废水注入软管插入。使用时,废水注入软管插入导入孔内,废水自挥发酸吸收器的导出孔流入废水槽内;在废水流入废水槽的过程中,废水中的酸性挥发气体挥发到壳体内,海绵体中的碱性液体与酸性挥发气体反应。与现有技术相比,本实用新型提供的挥发酸吸收器结构简单,制造成本低廉,既方便携带,又方便清洗,还可以有效减少挥发到空气中的酸性气体。
申请公布号 CN201161937Y 申请公布日期 2008.12.10
申请号 CN200820055286.3 申请日期 2008.01.31
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 何建房
分类号 C02F1/20(2006.01) 主分类号 C02F1/20(2006.01)
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈蘅;李时云
主权项 1.一种挥发酸吸收器,用于吸收废水中挥发出来的酸性气体,其特征在于,所述挥发酸吸收器包括壳体、注有碱性溶液且安装在壳体内的海绵体以及废水导入孔、导出孔;其中废水导入孔穿过壳体和海绵体与外界相通,以供废水注入软管插入;使用时,废水注入软管插入导入孔内,废水自挥发酸吸收器的导出孔流入废水槽内,废水中的酸性气体挥发到壳体内,海绵体中的碱性液体与酸性挥发气体反应。
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