发明名称 | 挥发酸吸收器 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种挥发酸吸收器,涉及半导体领域的废水处理装置。所述挥发酸吸收器包括壳体、注有碱性溶液且安装在壳体内的海绵体以及废水导入孔、导出孔;其中废水导入孔穿过壳体和海绵体与外界相通,以供废水注入软管插入。使用时,废水注入软管插入导入孔内,废水自挥发酸吸收器的导出孔流入废水槽内;在废水流入废水槽的过程中,废水中的酸性挥发气体挥发到壳体内,海绵体中的碱性液体与酸性挥发气体反应。与现有技术相比,本实用新型提供的挥发酸吸收器结构简单,制造成本低廉,既方便携带,又方便清洗,还可以有效减少挥发到空气中的酸性气体。 | ||
申请公布号 | CN201161937Y | 申请公布日期 | 2008.12.10 |
申请号 | CN200820055286.3 | 申请日期 | 2008.01.31 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 何建房 |
分类号 | C02F1/20(2006.01) | 主分类号 | C02F1/20(2006.01) |
代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
主权项 | 1.一种挥发酸吸收器,用于吸收废水中挥发出来的酸性气体,其特征在于,所述挥发酸吸收器包括壳体、注有碱性溶液且安装在壳体内的海绵体以及废水导入孔、导出孔;其中废水导入孔穿过壳体和海绵体与外界相通,以供废水注入软管插入;使用时,废水注入软管插入导入孔内,废水自挥发酸吸收器的导出孔流入废水槽内,废水中的酸性气体挥发到壳体内,海绵体中的碱性液体与酸性挥发气体反应。 | ||
地址 | 201203上海市张江路18号 |