多晶硅制造炉

摘要

多晶硅制造炉，包括腔体；位于腔体内的坩埚，坩埚用于装入硅；位于腔体内且设置在坩埚四周的隔热材料；设置在隔热材料内的加热器；加热器对装入坩埚内的硅进行加热；其隔热材料分为一位于坩埚侧面及上部的第一隔热材料和位于坩埚下部的第二隔热材料；在第二隔热材料上设置有能够窥视坩埚内部的间隙；在第一和第二的隔热材料上设置有驱动第一和第二的隔热材料进行垂直方向运动的第一和第二移动装置。通过第一和第二移动装置的开启与关闭，来控制间隙关闭与开启，实施加热与冷却。本实用新型在使用坩埚制造具有单向凝固组织的硅锭时以低成本提供适合大规模生产的制造装置，同时提供能够安全制造的方法，其工业价值显然是很大的。

主权项

1.多晶硅制造炉，包括：一腔体；位于所述的腔体内的坩埚，所述的坩埚用于装入硅；位于所述腔体内且设置在所述坩埚四周的隔热材料；设置在所述隔热材料内的加热器；所述加热器对装入所述的坩埚内的硅进行加热；其特征在于，所述的隔热材料分为一位于所述的坩埚侧面及上部的第一隔热材料和位于所述的坩埚下部的第二隔热材料；在所述的第二隔热材料上设置有能够窥视所述坩埚内部的间隙；在所述的第一和第二的隔热材料上设置有驱动所述的第一和第二的隔热材料进行垂直方向运动的第一和第二移动装置。