双面反射动镜干涉仪

摘要

一种双面反射动镜干涉仪包含一个分束器、两个固定的平面反射镜、和一个双面反射动镜；双面反射动镜为一个两表面均镀反射膜的平面平行玻璃板；双面反射动镜与分束器半反射面相互平行；第一平面镜和第二平面镜关于分束器半反射面对称；双面反射动镜沿分束器半反射面的法线方向做直线往复运动；光程差为双面反射动镜位移(相对于其零光程差位置)的4倍。这种干涉仪结构紧凑、体积小、成本低，适用于各种光谱区域的高分辨率傅里叶变换光谱仪。

主权项

1.一种双面反射动镜干涉仪，包括设置在入射光束光路上的一个分束器；还包括设置在上述分束器半反射面反射光束光路上的第一平面镜和设置在上述分束器半反射面透射光束光路上的第二平面镜；还包括设置在上述第一平面镜反射光束光路上和第二平面镜反射光束光路上的一个双面反射动镜；还包括探测器、以及将经双面反射动镜反射的两束光会聚到探测器上的收集镜；其特征在于：所述的双面反射动镜为一个两表面均镀反射膜的平面平行玻璃板；所述的双面反射动镜与分束器半反射面相互平行；所述的双面反射动镜沿分束器半反射面的法线方向做直线往复运动；所述的第一平面镜和第二平面镜关于分束器半反射面对称；所述的分束器、第一平面镜、第二平面镜的中心位于同一个平面内。