一种投影光学系统

摘要

本发明提供了一种投影光学系统，由22片镜片分成六个镜片组依次排列在物面和像面之间组成，其中，第一、第三、第五和第六镜片组具有正光焦度，第二和第四镜片组具有负光焦度。所述的投影光学系统中使用了一块负厚弯月透镜来校正场曲和像散，将场曲和像散控制在±2nm以内，通过引入四个非球面，较好地实现了物方和像方双远心，使得物方和像方远心误差均小于1mrad。该投影光学系统具有较大的物方和像方工作距，为工件台和掩模台及其对准系统提供较大的空间布局。

主权项

1、一种投影光学系统，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述的投影光学系统从物面到像面依次排列有六个镜片组，其特征在于：第一镜片组G1具有正光焦度，从物面到像面依次包括两个镜片L1～L2，其中，镜片L1是单凸透镜且正对物面的表面是平面，L2是正透镜；第二镜片组G2具有负光焦度，从物面到像面依次包括三个镜片L3～L5，其中，L3是凸面正对物面的负弯月透镜，L4是双凹透镜，L5是凹面正对物面的负弯月透镜；第三镜片组G3具有正光焦度，从物面到像面依次排列有两个凹面正对物面的正弯月透镜L6、L7，两个双凸透镜L8、L9，以及凸面正对物面的正弯月透镜L10；第四镜片组G4具有负光焦度，从物面到像面依次包括凸面正对物面的负厚弯月透镜L11和两个双凹透镜L12、L13；第五镜片组G5具有正光焦度，从物面到像面依次包括凹面正对物面的正弯月透镜L14和双凸透镜L15；第六镜片组G6具有正光焦度，从物面到像面依次包括六个镜片L16～L22，其中，L16和L17是正透镜，L18是凹面朝向物面的正弯月透镜，L19、L20和L21是凹面正对像面的正弯月透镜，L22为单凹透镜且正对像面的表面是平面。